1200℃ 3존 튜브전기로 패키지 CVD annealing 200mm
화학 기상 증착(CVD, 화학기상증착) 공정용 전기로, 어닐링(소둔) 용 전기로,
가스 흐름 패키지 + 이동형 프레임 + 냉각기 + 진공펌프로 완변한 구성
FU-PK-G4-3,FU-PK-G3-3,FU-PK-G2-3,FU-PK-G1-3
튜브 전기로 패키지(CVD)
1200℃ 전기로
CVD(화학기상증착) 공정및 어닐링(소둔) 용 전기로 전체 패키지
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1200℃ 3존 튜브전기로 패키지 CVD annealing 200mm FU-PK-G4-3 : 비전랩사이언스
화학 기상 증착(CVD, 화학기상증착) 공정용 전기로, 어닐링(소둔) 용 전기로, 가스 흐름 패키지 + 이동형 프레임 + 냉각기 + 진공펌프로 완변한 구성
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