기초실험장비/전기로

1200℃ 3존 튜브전기로 패키지 CVD annealing 200mm FU-PK-G4-3,FU-PK-G3-3,FU-PK-G2-3,FU-PK-G1-3

(주) 비전랩사이언스 2024. 11. 28. 11:16

1200℃ 3존 튜브전기로 패키지 CVD annealing 200mm

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화학 기상 증착(CVD, 화학기상증착) 공정용 전기로, 어닐링(소둔) 용 전기로,

가스 흐름 패키지 + 이동형 프레임 + 냉각기 + 진공펌프로 완변한 구성

​FU-PK-G4-3,FU-PK-G3-3,FU-PK-G2-3,FU-PK-G1-3

 

 

튜브 전기로 패키지(CVD)

1200℃ 전기로

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CVD(화학기상증착) 공정및 어닐링(소둔) 용 전기로 전체 패키지

 

 

 

 

 

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