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기초실험장비/전기로

1200℃ 튜브전기로 패키지 CVD annealing 600mm FU-PK-G4-L,FU-PK-G3-L,FU-PK-G2-L,FU-PK-G1-L

by (주) 비전랩사이언스 2024. 12. 2.

1200℃ 튜브전기로 패키지 CVD annealing 600mm

 

화학 기상 증착(CVD, 화학기상증착) 공정용 전기로, 어닐링(소둔) 용 전기로,

가스 흐름 패키지 + 이동형 프레임 + 냉각기 + 진공펌프로 완변한 구성

FU-PK-G4-L,FU-PK-G3-L,FU-PK-G2-L,FU-PK-G1-L

 

 

 
 

튜브 전기로 패키지(CVD)

1200℃ 전기로

CVD(화학기상증착) 공정및 어닐링(소둔) 용 전기로 전체 패키지